1、壓阻式傳感器

壓阻式傳感器是通過擴(kuò)散工藝將四個半導(dǎo)體應(yīng)變電阻制作在同一硅片上，利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)制成的傳感器。它由于工藝一致性好，靈敏度相等，因此漂移抵消，遲滯、蠕變非常小，動態(tài)響應(yīng)快，測量精度高、穩(wěn)定性好、溫度范圍寬、易小型化、能批量生產(chǎn)和使用方便。

2、壓阻式壓力傳感器

固態(tài)壓阻式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)傳感器硅膜片兩邊有兩個壓力腔。一個是和被測壓力相連接的高壓腔，另一個是低壓腔，和大氣相通。

3、壓電式傳感器

壓電式傳感器是基于某些材料受力后在其表面產(chǎn)生電荷的壓電效應(yīng)為轉(zhuǎn)換原理的傳感器。它是一種典型的有源傳感器，又稱自發(fā)電式傳感器。它具有體積小，重量輕，頻率寬，靈敏度高，結(jié)構(gòu)簡單，工作可靠等特點(diǎn)。

4、壓電式加速度傳感器

當(dāng)傳感器感受振動時，質(zhì)量塊感受與傳感器基座相同的振動，并受到與加速度方向相反的慣性力的作用。這樣，質(zhì)量塊就有一正比于加速度的交變力作用在壓電片上。由于壓電片壓電效應(yīng)，兩個表面上就產(chǎn)生交變電荷，當(dāng)振動頻率遠(yuǎn)低于傳感器的固有頻率時，傳感器的輸出電荷（電壓）與作用力成正比，亦即與試件的加速度成正比。